技术参数

测量行程：300mm×200mm (X×Y)

工件限高：200mm (Z)

玻璃台尺寸：340 mm×240 mm

示值系统：怡信Easson自产0.01um好 光栅尺

分辨率：0.01μm

示值精度：E = （2.0+L/200） μm    (L单位:mm)

重复精度：0.002 mm

载物台尺寸：460 mm×360 mm

驱动系统：伺服马达

控制系统：网路接口主板及伺服电机以及驱动做了全方面升级，Z轴带刹车系统，保证机器的平稳安全，定位更准

传动方式：三个轴采用精密级滚珠丝杆，速度有大提升，而且运作平稳。

操作方式：摇控手柄、鼠标拖运、程序检测

影像系统：130万数字高清网络相机

物镜：怡信Easson自主设计TC精密多段定倍自动变倍自动变焦远心镜头（标配同轴光）

光学放大倍率：0.7×-4.5×

实际倍率：35-145×

照明系统：USB控制40路上光源，直轴可调下光源

量测软件：怡信Easson自主开发Easson 2D自动版光学视觉量测软件

工作机台：高精度花岗岩平台

机台承重：30kg

整机重量：280 kg

整机尺寸：1350 mm×800 mm×1700 mm

电源：AC 220±5V、50Hz

使用环境：温度 18-22℃、±1℃；湿度30%-80%；震动15Hz以下＜0.001g。